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Si材料刻蚀(设备:牛津ICP刻蚀机 OXFORD PlasmaPro 100 Cobra 180)

主要用于直径6英寸及以下SiO,SiN,Si的均匀刻蚀,实现微纳米结构加工。设备具有稳定性好,重复性高,兼容性好的特点。兼容多种刻蚀工艺

品牌
Oxford Instrument
型号
Cobra 180
  • 刻蚀服务
1000.00元/机时
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